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硅片清洗剂在硅片清洗中有什么优点

发布日期:2021-11-08 内容来源于:http://www.szsi-tech.com.cn/

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硅片清洗剂广泛应用于光伏,电子等行业硅片清洗;由于硅片在运输过程中会有所污染,表面洁净度不是很高,对即将进行的腐蚀与刻蚀产生很大的影响,所以首先要对硅片表面进行一系列的清洗cao作。清洗的一般思路首先是去除表面的有机沾污,然后溶解氧化膜,因为氧化层是“沾污陷进”,会引起外延缺陷;再去除颗粒、金属等,同时使硅片的表面钝化。 多采用传统的RCA清洗方法,不仅可以去除硅片表面的金属等,还可以去除小颗粒等污染物。


硅片清洗剂具有以下优点:


清洗彻底,并且清洗后不会在硅片表面留下残留


清洗后不会对硅片材质产生损伤


硅片清洗剂本身化学性质稳定,

这种清洗剂调配的槽液易维护,并且易漂洗金属等,还可以去除小颗粒等污染物。


相关标签: 硅片清洗机 自动湿法清洗台 晶片清洗机 晶圆清洗机 湿法腐蚀机 SC-2清洗机 碱液清洗机 RCA清洗机 去胶清洗机 酸洗清洗机

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